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世界上首臺紫外光源22納米分辨率光刻機中國問世

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發(fā)布日期：2018-12-25 來源：科技日報瀏覽次數(shù)：947

核心提示：11月29日，中科院光電技術(shù)研究所承擔的國家重大科研裝備研制項目“超分辨光刻裝備研制”通過驗收，這是世界上首臺用紫外光源實現(xiàn)了22納米分辨率的光刻機。

11月29日，中科院光電技巧研討所承當?shù)膰葒乐乜蒲性O(shè)備研制項目“超分辯光刻設(shè)備研制”經(jīng)由過程驗收，這是世界上首臺用紫外光源完成了22納米分辯率的光刻機。

超分辨光刻裝備研制,國家重大科研裝備研制項目

中科院光電所科研人員操作超分辯光刻裝備(供圖：中科院科技攝影同盟)

關(guān)鍵詞： 超分辨光刻裝備研制國家重大科研裝備研制項目，招聘

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